新型ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡 JSM-IT800を販売開始 ― 次世代プラットフォームを採用したFE-SEM ― (2020年5月25日) - エキサイトニュース

日本電子株式会社(代表取締役社長兼COO：大井 泉、証券コード：6951)は、新型ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡 JSM-IT800を開発し、2020年5月より販売を開始しました。

画像1: https://www.atpress.ne.jp/releases/213511/LL_img_213511_1.jpg
JSM-IT800

《開発の背景》
走査電子顕微鏡(SEM)はナノテクノロジー、金属、半導体、セラミックスや医学・生物学の分野など、様々な分野で活用され、益々その用途を広げています。
また、使用される目的も基礎研究から製造現場、品質管理まで幅広くなっています。
それに応じて、より早く高画質データを取得したい、分析を意識しないでより楽に組成情報を確認したいという需要が高まっています。

JSM-IT800は、これまで当社が開発してきた、高分解能観察から高速度元素マッピングまで可能な「インレンズショットキーPlus電界放出形電子銃」、次世代型電子光学制御システム「Neo Engine」、EDSとフルインテグレーションし、使いやすさを追求したGUI「SEM Center」を共通のプラットフォームとしています。また、SEMの対物レンズをモジュールとして置き換えることで、お客様の様々なニーズに応じた装置を提供します。

JSM-IT800には、対物レンズの違いにより、汎用FE-SEMであるハイブリッドレンズバージョン(HLバージョン)と、より高分解能観察や分析を目的とするスーパーハイブリッドレンズバージョン(SHLバージョン)が存在します。SHLバージョンには新たな検出器UHD(上方ハイブリッド検出器)を標準搭載することにより、これまで以上に高S/Nの画像取得が可能で、容易な観察を実現します。

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May 25, 2020 at 07:30AM
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